等離子體被稱為物質(zhì)第4形態(tài)，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子凈化器是利用等離子體以每秒300萬次至5000萬次的速度反復(fù)轟擊異味氣體的分子，去激活、電離、裂解廢氣中的各種成份，從而發(fā)生氧化等一系列復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，再經(jīng)過多級凈化，將有害物轉(zhuǎn)化為潔凈的空氣釋放至大自然。

采用高壓發(fā)生器形成低溫等離子體在平均能量約5eV的大量電子作用下，使通過凈化器的苯、甲苯、二甲苯等有機(jī)廢氣分子轉(zhuǎn)化成各種活性粒子，與活空氣中的O2結(jié)合生成H2O、CO2等低分子無害物質(zhì)，使廢氣得到凈化。經(jīng)過長期的研究發(fā)現(xiàn)，當(dāng)化學(xué)物質(zhì)通過吸收能量（熱能、光子能量、電離），可以使自身的化學(xué)性質(zhì)變得更活躍甚至被裂解，當(dāng)吸收的能量大于化學(xué)鍵能，即可使化學(xué)鍵斷裂，形成游離的帶有能量的原子或基團(tuán)，電子能級8-11ev（3500KJ/mol-1600KJ/mol）等離子的作用下，一方面空氣中的氧被裂解，然后組合產(chǎn)生臭氧，另一方面將污染物化學(xué)鍵斷裂，使之形成游離態(tài)的原子或基團(tuán)；同時產(chǎn)生的臭氧參與到反應(yīng)過程中，使廢氣最終被裂解，氧化成簡單的穩(wěn)定的化合物CO2、H2O、N2等。